集成电路里为什么不能掉进灰尘？

在美国发生的一次飞机失事事故中，造成事故的原因居然是一个小螺丝掉在了飞机的油箱上，从而引发火灾。

看来，现代高科技产品是眼里不容掺进半颗沙子的。 而在集成电路里面，特别是大规模集成电路里面，排满了密密麻麻的各种电子元件，它们之间的距离不足千分之一毫米，而电子元件之间错综复杂的连线，更是多之又多。有些集成电路中的芯片，还没有一个图钉大。

如果有一颗灰尘掉进它里面，我们的眼睛虽然无法察觉，但对于电路来说，却似一座山，可以造成芯片的电路断路。有时候，也可导致整个芯片报废。

所以在高密度集成电路的生产过程中，必须将空气中的尘埃清除干净。这不是一般的打扫，而是要对空气进行严格的过滤，也就是说是需要一个特殊的工作场所，需要真正的一尘不染的工作场所。 

因此，生产高密度集成电路的半导体净化车间必须以无生命微粒为控制的对象，主要控制空气尘埃微粒污染。同时，半导体净化车间对静电的要求也极其严格，也就对车间的湿度提出了更高的要求。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，半导体净化车间的温度设置在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。同时，在车间入口要安装高标准风淋室及ESD除静电设备，运行时严格执行出入管理制度，严谨将粉尘和静电带入车间内。